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痕量级杂质气体比如烃类、H2O、CO、CO2、NOx、N2、H2S等会对高纯氦、高纯氢、高纯氮、其他高纯气体的生产带来危害，长期存在会损坏生产设备和影响生产质量，甚至对使用高纯气体的装备带来致命威胁。杜克泰克公司的DKF10-MH型痕量级多组分气体分析仪专门专业监测并分析ppm微量级、ppb超微量级杂质气体。
原理：
DKF10-MH多气体分析仪基于红外光声光谱技术，拥有脉冲红外光源，通过窄带光学滤波片，形成中红外区10个光谱波段，用于气体分析；超高灵敏度基于专利的拥有增强悬臂梁光学麦克风技术，可通过10种光学窄带滤波片实现，极窄的光学滤波可去除背景气体的干扰；多个光谱区域可有利于最小的交叉灵敏度。对采样响应结果按照改进的经典最小二乘法进行数据校准。
光声光谱技术可实现短光路光程的高灵敏度测量，更进一步提高了非线性补偿技术，可实现宽量程可达5级的线性动态量程比。
可测气体：
l 烃类：CH4、C2H6、C2H2、C2H4等
l 无机气体： CO2、CO、N2O、SO2、NO、NO2, NH3、NF3、SF6、H2O等
l 挥发性有机物VOCs：丙酮、乙醇、甲醇、苯、 甲苯、二甲苯、甲醛等
l 氟利昂（CFCs）及 全氟化碳（PFCs）: CF4、 C2F6、R-134a、R13等
l 腐蚀性气体：HF、HCL、HCN等
l 麻醉剂：异氟烷、七氟烷、地氟烷、安氟醚等；
l 其他气体：N2、H2、O2、氯气等（可选、扩展探头）；
l 被测气体可定制；
应用：
高纯气杂质气体 泄漏检测
过程质量控制 熏蒸气体
工业安全和卫生 废麻醉气体
家禽养殖，生猪养殖 农业 温室气体
大气污染物排放 发酵
其他痕量气体分析
特性：
l 同时测量高达9种气体
l ppb,sub-ppm级的检测限
l 即采即测、实时分析、秒级响应时间
l 长的标定周期、低的样气量
l 高分辨率图形显示界面,友好人机交互界面
l 丰富的可编程测量任务
l 图形和表格显示全部气体的测量结果
l 内置趋势查看监控任务,
l 不需要外部的电脑
l 无耗材、免维护
l 4~20mA模拟量、RS232、RS485通讯
l 坚固耐用的外壳设计
优点：
l 带有增强悬臂梁光学麦克风的红外光声光谱 技术
l 电子脉冲红外光源
l 镀金采样气室恒定温度50°C
l 专利超灵敏的基于MEMS悬臂梁传感器光学麦克风，耦合激光干涉测量悬臂梁微观移动
l 19"3U工业机箱，适用于全部台式或机架固定安装
l 内置带有5.7"前置显示器的嵌入式计算机 可设置气体报警阈值
l 数据存储约2GB，连续存储9种气体可达1年
l 测量结果可以通过U盘，USB口，Ethernet网口，串口导出
l 后面板有四路气体连接口，两路为采样接口， 配有粉尘颗粒物过滤器
l 自动补偿温度、压力等变化工况的干扰
l 自动去除包括水汽、颗粒物等采样气体的干扰
